产品名称:气-固流化床反应炉
产品介绍:专为气-固两相流的处理和反应设计,可满足低密度粉体材料的生长、掺杂、干燥、包覆、热处理、净化、燃烧等应用,也可以用于锂电领域的纳米硅沉积工艺。具备前后两个双重流化腔体,前流化腔体可做常温气氛(氧气、惰性气体等)处理,后流化腔体可做高温流化处理。
①双重流化腔,可在升温前先对反应物预处理;
②进料、传输、流化、加热、冷却、出料全流程自动控制;
③工艺参数自动记录,可随时调用重复,增加工艺稳定性;
④多重安全监控,自动异常停机。
1.可进行C、Si等材料的CVD包覆;
2. 可自动进行搅拌臭氧处理;
3. 自动进行流化掺氮反应;